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蒋经理 先生
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发布时间:2020-09-08 11:24:39
高温炉工作流程介绍
使用高温炉要严格按照安全操作流程来做,确保人员的安全和避免炉体,工件的损坏。
一、 工作前的流程
1、 检查炉内是否干净,清理杂物,确保炉内干净。
2、 检查炉壁,炉底板是否有破或裂等损坏。
3、 电阻丝和热电偶引出棒的安装紧固情况,检查仪表是否正常。
4、 检查电阻炉炉门开关是否灵活。
5、 确保各项正常以后,开始放工件。
高温炉操作规程大致可分为以下几点:
一、装料
1.将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆断定其方位,五大操作规程顺次装入硅料。
2.拔出限位杆,输送车开关打至 IN,顺次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,将坩埚装入炉膛内,并断定输送车会到初始方位。
3.装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门
二、 抽气
1.查看炉门是不是关紧,真空体系是不是密封
2.置 DP 按钮于 DP ON,翻开干式真空泵,翻开真空计开关 P1G1,翻开干式真空泵 。阀门,开端抽气测验走漏率,
3.当压力表指示为 50Pa是封闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,翻开Ar阀门充Ar(20L/min)。
4.加热 先翻开水环泵 再按 RUN,开端技术加热。
高温炉的内部材料要注意什么
首先就是要注意好材料的抗温能力,很多材料面对高温的时候是会容易出现变形的问题的,这对于设备的质量是不好的作用,因此我们在操作的时候要注意好,这样才能充分的保证设备在使用的时候不会有不利的影响.其次在生产高温炉的时候也是要注意好内部材料的强化处理的,这是为了可以充分的保证材料在使用时候的强度,为了可以充分的保证强化效果,在处理的时候一定要注意好,这样高温炉在生产的时候就可以保证使用的时间了.
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